发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PLASMA TREATING AN ARTICLE
摘要
申请公布号 EP1733411(A1) 申请公布日期 2006.12.20
申请号 EP20040716162 申请日期 2004.03.01
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 SCHAEPKENS, MARC;IACOVANGELO, CHARLES, DOMINIC;JOHNSON, JAMES, NEIL;MORRISON, WILLIAM, ARTHUR
分类号 H01J37/32;H05H1/32;H05H1/34 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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