| 发明名称 | 显影液盛滚筒湿润及清理装置 | ||
| 摘要 | 一种显影液盛滚筒湿润及清理装置，包含：显影室；液盛滚筒，其用以驱动基板进入显影室；显影槽，储存显影液；至少一个喷嘴，位于显影室的底部，其用以将显影槽的显影液喷洒至液盛滚筒；以及压力控制器，其用以控制喷嘴喷洒的流量及压力，以此使液盛滚筒通过喷嘴喷洒的显影液而保持湿润，不会因停滞过久产生结晶物。 | ||
| 申请公布号 | CN101000466A | 申请公布日期 | 2007.07.18 |
| 申请号 | CN200610172068.3 | 申请日期 | 2006.12.29 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 陈维绮;颜骏翔;涂锦识 |
| 分类号 | G03F7/32(2006.01);G03F7/26(2006.01);B05B1/14(2006.01);B05B1/02(2006.01);B05B1/30(2006.01) | 主分类号 | G03F7/32(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 潘培坤 |
| 主权项 | 1.一种显影液盛滚筒湿润及清理装置，位于一显影室的底部，并且通过一液盛滚筒驱动一基板进入该显影室，该显影液盛滚筒湿润及清理装置包含：至少一个喷嘴，其用以将显影液喷洒至该液盛滚筒，以避免在该液盛滚筒上残留结晶物；以及一压力控制器，其用以控制该喷嘴的流量及压力。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||