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发明名称 Verfahren zur Abscheidung einer Dünnschicht auf einer oxidierten Oberflächenschicht eines Substrats
摘要
申请公布号 DE602005001572(T2) 申请公布日期 2008.03.20
申请号 DE200560001572T 申请日期 2005.04.08
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 DAMLENCOURT, JEAN-FRANCOIS;RENAULT, OLIVIER
分类号 C23C16/40;C23C16/14;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/56 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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