ハードマスクおよび充填材料として安定な金属化合物、その組成物、およびその使用方法

摘要

本発明は、改善された安定性を有する金属酸化物フィルムを形成できる新規の可溶性マルチ−リガンド−置換された（複数の配位子で置換された）酸化金属化合物、およびそれらから製造された組成物、およびそれらの使用方法に関する。具体的には、本発明は、構造（Ｉ）を含む化合物に関し、ここで、Ｍは金属であり、ｎは１〜２０であり、そして、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４のうちの少なくとも一つがｉ）であり、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４のうちの少なくとも一つがｉｉ）であり、ここで、ｉ）は少なくとも２つの炭素を有するケイ素含有機部分であり、そして、ｉｉ）は有機部分（ＩＩ）である。さらに、本発明は溶媒に溶解する構造（Ｉ）の化合物のスピンコート可能な組成物に関する。さらに、本発明は、スピンコート可能な組成物を使用した、パターン化された基板上へのコーティングを形成する方法に関する。