硅整流器件的电泳法玻璃钝化工艺

摘要

本发明涉及一种硅整流器件的玻璃钝化工艺，特别涉及一种硅整流器件的电泳法玻璃钝化工艺，首先用混酸将经光刻后的扩散硅片腐蚀出PN结沟槽，然后将丙酮、玻璃粉、硝酸按比例混合，配制成电泳液。使用电泳装置，利用电泳法将玻璃粉均匀的沉积在硅PN结台面沟槽中，最后在温度820℃的纯氧气条件下，将电泳处理后硅片进行玻璃烧成。该工艺能有效地控制硅PN结沟槽玻璃钝化层厚度，使制成的器件的反向电性能稳定。

主权项

1.本发明涉及一种硅整流器件的玻璃钝化工艺，该方法包括以下工艺步骤：(1).将扩散后硅片在高温1120℃下分别通干氧、湿氧、干氧，生成氧化膜；(2).再将氧化后硅片进行涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜等光刻过程，做好光刻图形；(3).将硝酸、氢氟酸、乙酸按以下比例配制成混酸腐蚀液：硝酸： 30～65％氢氟酸： 15～30％乙酸： 10～45％然后将光刻后的硅片进行腐蚀，刻蚀出PN结沟槽，并去胶清洗；(4).配制电泳液：将丙酮、玻璃粉、硝酸按照以下比例配制成电泳液：丙酮： 80～97％玻璃粉： 2～19％硝酸： 0.005～1％(5).将装有电泳液的石英方杯放置在电泳装置中，启动超声波进行超声15min，即可进行电泳；(6).将电泳后的硅片在温度为820℃的氧气氛围下进行玻璃烧成。