| 发明名称 | 干燥盘状基材的部件和方法 | ||
| 摘要 | 本发明披露一种用于干燥一盘状基材之部件，其包含：用于固定单一盘状基材的构件，用于供应冲洗液体至盘状基材表面上的构件，用于产生一气剂的构件及用于供应该气剂至盘状基材表面上的构件。还披露一种用于干燥一盘状基材之方法，其包含以下步骤：提供单一盘状基材，将冲洗液体施加至盘状基材表面，将一气剂施加至盘状基材表面上，其中气剂包含一身为散布相的干燥液体及一身为连续相的惰性气体。液体的至少一部分系在气剂供应期间出现于盘状基材上且气剂滴粒凝结于液体表面上。 | ||
| 申请公布号 | CN101080805A | 申请公布日期 | 2007.11.28 |
| 申请号 | CN200580042881.2 | 申请日期 | 2005.12.01 |
| 申请人 | SEZ股份公司 | 发明人 | H－J·克鲁维努斯 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 张祖昌 |
| 主权项 | 1.一种用于干燥一盘状基材的部件，包含：用于固持单一盘状基材的构件、用于供应冲洗液体至该盘状基材表面上的构件、用于产生一气剂的构件，其被连接至一干燥液体源以将干燥液体进给至该气剂产生器及用于供应该气剂至该盘状基材表面上的构件。 | ||
| 地址 | 奥地利菲拉赫 | ||