| 发明名称 | 图案形成方法及电光学装置制造方法以及电子机器制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可以不导致成本上升地形成优质的图案的图案形成方法。在具有相对于功能液来说的亲液部(Pa)及疏液部(H)的基板(P)上涂布功能液而形成图案(W)。具有：向具有亲液部的基板上涂布含有疏液材料的液滴而形成疏液部的第一工序、向疏液部之间的亲液部涂布功能液的第二工序。疏液材料包含硅烷化合物、具有氟烷基的化合物、含有氟的树脂的至少一种。 | ||
| 申请公布号 | CN101330801A | 申请公布日期 | 2008.12.24 |
| 申请号 | CN200810128514.X | 申请日期 | 2008.06.19 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 平井利充 |
| 分类号 | H05K3/10(2006.01);H05K3/14(2006.01);G02F1/1362(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L51/00(2006.01) | 主分类号 | H05K3/10(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李贵亮 |
| 主权项 | 1.一种图案形成方法，它是在具有相对于功能液的亲液部及疏液部的基板上涂布所述功能液而形成图案的图案形成方法，其特征在于，包括：向具有所述亲液部的基板上涂布含有疏液材料的液滴而形成所述疏液部的第一工序，以及，向所述疏液部之间的所述亲液部涂布所述功能液的第二工序，所述疏液材料包含有硅烷化合物、具有氟烷基的化合物、含氟树脂的至少一种。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||