ナノ構造及びナノ構造化物品の作製方法

摘要

反応性種を使用し、表面を実質的に同時にエッチングすると同時に、プラズマ化学気相堆積法によりガス混合物から、基材の主表面に層を堆積することによるナノ構造及びナノ構造化物品の作製方法。本方法は、基材を提供することと、プラズマへと形成されるときに基材上に層を堆積することができる第１のガス種を、プラズマへと形成されるときに基材をエッチングすることができる第２のガス種と混合し、それによってガス混合物を形成することと、ガス混合物をプラズマへと形成することと、基材の表面をプラズマに露出することと、を含み、該表面がエッチングされ、層が、エッチングされた表面の少なくとも一部上に実質的に同時に堆積され、それによってナノ構造が形成される。基材は、（コ）ポリマー材料、無機材料、合金、固溶体、又はこれらの組み合わせであり得る。堆積層は、有機ケイ素化合物、金属アルキル化合物、金属イソプロキシド化合物、金属アセチルアセトネート化合物、金属ハライド化合物、及びこれらの組み合わせからなるからなる群から選択される化合物を含む反応ガスを使用する、プラズマ化学気相堆積法の反応生成物を含み得る。高アスペクト比のナノ構造、並びに任意選択で、少なくとも１つの寸法及び好ましくは３つの直交する寸法においてランダムな寸法を有する高アスペクト比のナノ構造が、調製され得る。