| 发明名称 | 一种钛铝锆三元合金靶材及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种钛铝锆三元合金靶材及其制备方法，该钛铝锆三元合金靶材由以下原子百分比的原料制成：钛30％～90％，铝5％～70％，余量为锆。本发明还包括钛铝锆三元合金靶材的粉末真空热压制备方法。该方法是将一定规格的钛粉、铝粉和锆粉按一定比例混合均匀，然后经冷压预制成坯、真空脱气工艺处理，最后在真空气氛下采用一定的温度和压力得到不同成分配比的钛铝锆三元合金靶材。本发明采用的粉末真空热压制备钛铝锆三元合金靶材，通过反应溅射或离子涂方法制作的Ti<sub>x</sub>Al<sub>y</sub>Zr<sub>1-x-y</sub>N涂层，使用温度900-1000℃，硬度≥30GPa。制备工艺简单，生产周期短，获得的靶材纯度高，成分均匀，致密度高，适合各种工模具表面的防护涂层。 | ||
| 申请公布号 | CN105779816A | 申请公布日期 | 2016.07.20 |
| 申请号 | CN201410789313.X | 申请日期 | 2014.12.17 |
| 申请人 | 上海柯瑞冶金炉料有限公司;上海彭浦特种耐火材料厂有限公司 | 发明人 | 岳建岭;陈海奕;许虹杰;王礼瑋;顾燕 |
| 分类号 | C22C14/00(2006.01)I;C22C21/00(2006.01)I;C22C30/00(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C22C14/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人 | 潘振甦 |
| 主权项 | 一种钛铝锆三元合金靶材，其特征在于原子百分比的配比为：钛30％～90％，铝5％～70％，余量为锆。 | ||
| 地址 | 201908 上海市宝山区罗店经济区沪太路8230号 | ||