发明名称 |
在三维异形曲面腐蚀复杂图案的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种在三维异形曲面腐蚀复杂图案的方法,属于光化学加工技术领域。该方法步骤为:二次照相曝光;在待腐蚀三维异形曲面上覆盖一层感光胶及透光油脂;将曝光成像后感光塑料薄膜贴附在三维异形曲面上;选择两侧图案可以对接处将裕出的感光塑料薄膜叠合;割除叠合部分,使割缝两侧感光塑料薄膜图案衔接顺畅;曝光显影后,使待腐蚀三维异形曲面与化学腐蚀液接触。这样妥善解决了目前光化学加工中的难题,可以在三维不规则曲面上形成清晰、美观、连续的腐蚀图案,并且易于实施、制作效果良好。 |
申请公布号 |
CN101078873A |
申请公布日期 |
2007.11.28 |
申请号 |
CN200710024850.5 |
申请日期 |
2007.07.03 |
申请人 |
航天晨光股份有限公司 |
发明人 |
胡宁生;撒世国;胡鹏;康庆生;徐锦新;张毅 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01) |
代理机构 |
南京苏科专利代理有限责任公司 |
代理人 |
何朝旭 |
主权项 |
1.一种在三维异形曲面腐蚀复杂图案的方法,其特征在于包括以下步骤:1)通过二次照相曝光,将胶片上的设计图案成像在感光塑料薄膜上;2)在待腐蚀三维异形曲面上覆盖一层感光胶;3)在感光胶上涂附一层透光油脂;4)将成像后的感光塑料薄膜以最大接触面积贴附在经过上述处理的整个三维异形曲面上;5)选择两侧图案可以对接处将裕出的局部感光塑料薄膜叠合;6)将图案叠合处割开,在保证图案基本对接的前提下,使叠合处平整化;7)曝光显影后,清除感光塑料薄膜,使待腐蚀三维异形曲面与化学腐蚀液接触。 |
地址 |
211100江苏省南京市江宁经济技术开发区天元中路188号 |