| 发明名称 |
Workpiece height adjustment in an electron beam lithography machine |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2442766(A) |
申请公布日期 |
2008.04.16 |
| 申请号 |
GB20060020287 |
申请日期 |
2006.10.12 |
| 申请人 |
VISTEC LITHOGRAPHY LIMITED |
发明人 |
PAUL GEORGE HARRIS;JOHN MELBOURNE TINGAY |
| 分类号 |
H01J37/02;H01J37/20;H01J37/304 |
主分类号 |
H01J37/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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