激光加工装置

摘要

提供激光加工装置。对于在被加工物的内部形成改质层的激光加工方法，将烧蚀的产生抑制为最小限度，消除产生无法正常地分割被加工物的区域这样的问题。激光加工装置至少包括：保持构件，其对被加工物进行保持；激光光线照射构件，其具有聚光器，该聚光器照射对于由该保持构件保持的被加工物具有透过性的波长的激光光线而在被加工物的内部形成改质层；以及加工进给构件，其对该保持构件相对于该激光光线照射构件相对地进行加工进给，该激光加工装置具有对该激光光线所照射的区域进行监视的监视构件，该监视构件在检测到因该激光光线的聚光点从被加工物的内部移动到正面侧而产生的光的情况下，判定为异常并停止由该激光光线进行的加工。

主权项

一种激光加工装置，其至少包括：保持构件，其对被加工物进行保持；激光光线照射构件，其具有聚光器，该聚光器照射对于由该保持构件保持的被加工物具有透过性的波长的激光光线而在该被加工物的内部形成改质层；以及加工进给构件，其相对于该激光光线照射构件对该保持构件相对地进行加工进给，其中，该激光加工装置具有监视构件，该监视构件对该激光光线所照射的区域进行监视，该监视构件在检测到因该激光光线的聚光点从被加工物的内部向正面侧移动而产生的光的情况下，判定为异常并停止由该激光光线进行的加工。