一种复合反射电极、制备方法及有机电致发光器件

摘要

一种复合反射电极、制备方法及有机电致发光器件，复合反射电极设置有银薄膜和作为保护层的非晶透明氧化物薄膜；非晶透明氧化物薄膜为金属氧化物(In₂O₃)_x(MO)_y(ZnO)_z，非晶透明氧化物薄膜的厚度为5~15 nm。复合反射电极的制备方法是采用物理气相沉积法沉积银薄膜和非晶透明氧化物薄膜作为保护层，再对所形成的复合薄膜采用磷酸基刻蚀液刻蚀进行图形化得到复合反射电极。该复合反射电极能够提高银薄膜的温度稳定性及空气存储稳定性。其制备工艺简单，易图形化。具有该复合电极的有机电致发光器件具有性能优良、制备工艺简单的特点。

主权项

一种复合反射电极，其特征在于：通过如下步骤制备而成，采用硬质玻璃基板作为基板；采用PVD法沉积纯厚度为200 nm的银薄膜作为底层金属，其中银薄膜的溅镀条件为：功率—1000w，Ar—30sccm，气压—0.5Pa；再在制备好的纯银薄膜上分别沉积厚度为6.1 nm、7.6 nm、12 nm的氧化铟锌薄膜作为保护层，氧化铟锌薄膜中In、Zn原子比为1:1；接下来在制备好的复合薄膜上涂布瑞红304光刻胶，并利用曝光方法在复合薄膜上制作反射电极刻蚀掩膜图形；然后，使用63wt%的磷酸、1wt%的硝酸、33wt%的冰醋酸、其余成分为去离子水所配置的磷酸基混合酸，在25℃条件下刻蚀2分钟；最后剥离光刻胶，获得复合反射电极。