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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung (100) Folgendes aufweisen: eine Prozesskammer (102) zum Prozessieren eines Substrats innerhalb eines Prozessierbereichs (111); ein Wandelement (104), welches den Prozessierbereich (111) zumindest teilweise begrenzt, wobei das Wandelement (104) derart angeordnet und derart gasdurchlässig strukturiert ist, dass es, wenn es mit einer Gasversorgung gekuppelt ist, mit Gas durchströmt wird, wobei der Gasstrom (104g) durch das Wandelement (104) hindurch in Richtung des Prozessierbereichs (111) gerichtet ist. |
