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发明名称
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摘要
申请公布号
DE2336584(A1)
申请公布日期
1974.02.21
申请号
DE19732336584
申请日期
1973.07.18
申请人
HITACHI,LTD.
发明人
ARAI,FUMIO;SAKAMOTO,YUZABURO;TAKAGAKI,TETSUYA
分类号
B23P21/00;G05D3/00;H01L21/00;H01L21/60;H01L21/68;(IPC1-7):H01L1/14
主分类号
B23P21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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