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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5091288(A)	申请公布日期	1975.07.21
申请号	JP19730137803	申请日期	1973.12.12
申请人		发明人
分类号	H01L29/80;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/337;H01L23/50;H01L27/02;H01L29/70;H01L29/73;H01L29/78;H01L29/808;(IPC1-7):H01L27/02	主分类号	H01L29/80
代理机构		代理人
主权项
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