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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON KLEINEN DURCHGANGSLOECHERN
摘要
申请公布号 DE2604939(A1) 申请公布日期 1977.08.11
申请号 DE19762604939 申请日期 1976.02.09
申请人 IBM DEUTSCHLAND GMBH 发明人 RUH,WOLF-DIETER;TRIPPEL,GERHARD,DIPL.-PHYS.DR.
分类号 B41J2/135;B26F1/26;B41J2/16;C23F1/00;C23F1/02;D01D4/00;G03F1/20;G03F7/09;(IPC1-7):B41J3/04 主分类号 B41J2/135
代理机构 代理人
主权项
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