| 发明名称 |
METHOD OF MAKING MULTIILAYER THIN FILM OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52117057(A) |
申请公布日期 |
1977.10.01 |
| 申请号 |
JP19760033516 |
申请日期 |
1976.03.29 |
| 申请人 |
TAKAHASHI KIYOSHI;KONAGAI MAKOTO |
发明人 |
TAKAHASHI KIYOSHI;KONAGAI MAKOTO |
| 分类号 |
H01L31/04;H01L21/20;H01L21/208;H01L31/10 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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