| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5331964(A) |
申请公布日期 |
1978.03.25 |
| 申请号 |
JP19760106504 |
申请日期 |
1976.09.06 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
IZUMI KATSUTOSHI;DOUKEN MASANOBU;ARIYOSHI AKIRA |
| 分类号 |
H01L27/00;C30B25/18;C30B33/00;C30B33/04;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/762;H01L21/84;H01L21/86;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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