发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS5351979(A) 申请公布日期 1978.05.11
申请号 JP19760126088 申请日期 1976.10.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUROSAWA HIROSHI;UCHIDA HISATOSHI;TAKAGI TAKESHI
分类号 H01L29/73;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/56;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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