发明名称 NOISE CHARACTERISTIC DISCRIMINATION OF SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS5352078(A) 申请公布日期 1978.05.12
申请号 JP19760126140 申请日期 1976.10.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKEUCHI SHIGERU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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