| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5386177(A) |
申请公布日期 |
1978.07.29 |
| 申请号 |
JP19770000920 |
申请日期 |
1977.01.07 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KUNINOBU SHIGEROU |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/76;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
