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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53144260(A) 申请公布日期 1978.12.15
申请号 JP19770059257 申请日期 1977.05.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HATADA KENZOU;KAJIWARA KOUSEI
分类号 H01L21/60;H01L23/48 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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