| 摘要 |
질량 유량 제어기는, 상기 질량 유량 제어기를 통과하는 질량의 유속을 측정하도록 구성되고 구현되는 제 1 유량계; 상기 질량 유량 제어기를 통과하는 질량의 유속을 측정하도록 구성되고 구현되는 제 2 유량계; 상기 질량 유량 제어기를 통과하는 질량의 유속을 상기 유량계 중 하나에 의하여 측정된 바와 같은 유속의 함수로서 생성되는 제어 신호에 응답하여 제어하기 위하여 구성되고 구현되는 제어 밸브; 및 제어 신호를 생성하고, 상기 제 1 유량계에 의하여 측정된 바와 같은 질량의 유속 및 상기 제 2 유량계에 의하여 측정된 바와 같은 질량의 유속 사이의 차분이 임계를 초과할 경우 표시를 제공하도록 구성되고 구현되는 시스템 제어기를 포함한다. |
