发明名称 HEAT TREATMENT METHOD FOR 335 GROUP COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS54104770(A) 申请公布日期 1979.08.17
申请号 JP19780011605 申请日期 1978.02.03
申请人 SONY CORP 发明人 KASAHARA JIROU
分类号 H01L21/265;C30B29/40;C30B31/06;H01L21/22;H01L21/324 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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