发明名称
摘要
申请公布号 JPS5534611(U) 申请公布日期 1980.03.06
申请号 JP19780115682U 申请日期 1978.08.25
申请人 发明人
分类号 H01L27/06;H01L21/331;H01L21/8222;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/866;(IPC1-7):H01L29/72;H01L29/90 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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