发明名称 HEATING METHOD FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS5571028(A) 申请公布日期 1980.05.28
申请号 JP19780144787 申请日期 1978.11.22
申请人 CITIZEN WATCH CO LTD 发明人 SHIROTA TOSHIMITSU;KOSHI MASAO
分类号 H01L21/324;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/314 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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