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发明名称
HEATING METHOD FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPS5571028(A)
申请公布日期
1980.05.28
申请号
JP19780144787
申请日期
1978.11.22
申请人
CITIZEN WATCH CO LTD
发明人
SHIROTA TOSHIMITSU;KOSHI MASAO
分类号
H01L21/324;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/314
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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