发明名称 FILM THICKNESS MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5692406(A) 申请公布日期 1981.07.27
申请号 JP19790168125 申请日期 1979.12.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FURUMIYA SATOSHI
分类号 G01B15/02;G01N23/207 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
主权项
地址