| 摘要 |
에어리얼 이미지 또는 레지스트 이미지의 특성의 확률적 변동과 1 이상의 디자인 변수 간의 관계를 결정하는 방법이 개시되고, 상기 방법은: 디자인 변수들의 값들의 복수의 세트들 각각에 대해 복수의 에어리얼 이미지들 및/또는 레지스트 이미지들로부터의 특성의 값들을 측정하는 단계; 디자인 변수들의 값들의 복수의 세트들 각각에 대해, 디자인 변수들의 값들의 그 세트에 대한 특성의 값들의 분포로부터, 확률적 변동의 값을 결정하는 단계; 및 디자인 변수들의 값들의 복수의 세트들 및 확률적 변동의 값들로부터의 1 이상의 파라미터를 피팅함으로써 관계를 결정하는 단계를 포함한다. |
