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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MONOLITHISCH INTEGRIERTEN SCHALTUNG
摘要
申请公布号 DE3234907(A1) 申请公布日期 1984.03.22
申请号 DE19823234907 申请日期 1982.09.21
申请人 SIEMENS AG 发明人 EGGERS,HARALD,DIPL.-ING.;GLASL,ANDREAS,DIPL.-PHYS.;KERSCHBAUM,MANFRED,DIPL.-ING.
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):01L21/94;01L21/90;01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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