微驱动器、磁头折片组合、磁盘驱动器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种磁头折片组合机构(HGA)，包括磁头、微驱动器及用以承载所述磁头与微驱动器的悬臂件。其中，所述微驱动器包括一个支撑底及一个压电单元。所述压电单元包括两个用于对磁头进行位置行程调整的压电元件及一个用于对磁头进行飞行高度调整的压电元件。所述支撑底包括底部、活动片及连接底部及活动片的引柱。所述每个用于进行位置行程调整的压电元件一端连结于支撑底的底部，另一端连结于活动片。所述用于进行飞行高度调整的压电元件连结于所述支撑底的引柱。本发明同时公开了该磁头折片组合及微驱动器的制造方法以及包含上述磁头折片组合及微驱动器的磁盘驱动器的结构。

主权项

1.一种磁头折片组合(head gimbal assembly)包括：磁头；微驱动器(micro-actuator)；及用以承载所述磁头与微驱动器的悬臂件；其特征在于：所述微驱动器包括一个支撑底及一个压电单元(piezoelectric unit)，所述支撑底包括底部、活动片及连接底部及活动片的引柱，所述压电单元包括两个用于对磁头进行位置调整(position displacement adjustment)的压电元件及一个用于对磁头进行飞行高度调整的压电元件，所述每个用于进行位置调整的压电元件一端连结于支撑底的底部，另一端连结于活动片，所述用于进行飞行高度调整的压电元件连结于所述支撑底的引柱。