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发明名称
소형회로 프로세싱 장치 및 이 장치에 사용하기 위한 메트릭스 테스트 헤드(matrix test head)
摘要
<p>내용 없음.</p>
申请公布号
KR840002585(A)
申请公布日期
1984.07.02
申请号
KR19820004904
申请日期
1982.11.01
申请人
죠셉버터니크
发明人
죠셉버터니크
分类号
H01L21/66;G01R1/073;G01R31/26
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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