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发明名称
Semiconductor device and manufacturing method of the same
摘要
반도체 소자에 대해 개시되어 있다. 개시된 반도체 소자는 나노 와이어를 지닌 채널과 나노 파티클을 지닌 전하 저장층을 포함할 수 있으며, 전하 저장층 상에는 제 1게이트 및 제 2게이트를 포함하는 트윈 게이트 구조가 형성된 것일 수 있다. 이 경우, 상기 반도체 소자는 메모리 소자 또는 다이오드일 수 있다.
申请公布号
KR101659816(B1)
申请公布日期
2016.09.26
申请号
KR20100017291
申请日期
2010.02.25
申请人
삼성전자주식회사;서울대학교산학협력단
发明人
이은홍;홍승훈;김언정;이형우;명성
分类号
H01L29/78;H01L21/336
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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