| 发明名称 |
SILICON PRODUCTION FROM SILICON CONTAINING GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59162117(A) |
申请公布日期 |
1984.09.13 |
| 申请号 |
JP19830241800 |
申请日期 |
1983.12.21 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC |
发明人 |
DEBITSUDO II UITSUTAA;MOHENDORA ESU BAWA |
| 分类号 |
C01B33/02;C01B33/027;C01B33/03;C30B15/02;C30B15/04;C30B29/06 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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