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发明名称
FINELY MOVING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6110971(A)
申请公布日期
1986.01.18
申请号
JP19840130539
申请日期
1984.06.25
申请人
TOSHIBA KK
发明人
TANAKA KUNIYOSHI
分类号
H02N2/00;H01J37/20;H01L21/68;H01L41/09
主分类号
H02N2/00
代理机构
代理人
主权项
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