| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY AND APPARATUS FOR THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62118526(A) |
申请公布日期 |
1987.05.29 |
| 申请号 |
JP19860225045 |
申请日期 |
1986.09.25 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
MAACHIN FUERUDOMAN;MAACHIN POORU REPUSERUTAA |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/06;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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