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发明名称
BIAS SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS637367(A)
申请公布日期
1988.01.13
申请号
JP19860146911
申请日期
1986.06.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
OWADA NOBUO;HORIUCHI MITSUAKI;TSUNEOKA MASATOSHI
分类号
H01L21/285;C23C14/54
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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