| 发明名称 |
SUBSTRATE HAVING LARGE SURFACE AREA AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6345385(A) |
申请公布日期 |
1988.02.26 |
| 申请号 |
JP19860186975 |
申请日期 |
1986.08.11 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KOYABU KUNIO;MATSUI SHINSUKE;WATANABE JUNJI |
| 分类号 |
C01B33/02;C01B33/021;C23C16/24;C23C16/48;C23C16/50;C23F1/24;H01L23/36;H05K1/03 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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