| 发明名称 |
WAFER TESTING DEVICE FOR PHOTO INPUT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01155638(A) |
申请公布日期 |
1989.06.19 |
| 申请号 |
JP19870314446 |
申请日期 |
1987.12.11 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NAKAMURA HIROTAKA;NAKANE SHINJI |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H01L31/10 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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