| 主权项 |
1.一种将密闭室隔绝以便防止其受外部污染之动态限制及无接触式接合方法,该密闭室设有一端开口于该密闭室中而另一端开口之管,其特征为包括如下之步骤:至少将一个槽设在管内壁之靠近其开口端附近,该槽位于垂直于该管之轴线之平面内并且朝向该开口倾斜,该槽中有气体流通以便将连级之气流层供给于管中:至少将一个多孔板设在该管之内壁上之槽与该开口端之间,将气体供给于该板,而该气体形成适合于克服由离开该槽之气流层所造成之压力降之小气体流;及将该密闭室内压力保持稍高于其周围压力,以便产生沿着该管流动并且使离开该槽流向该开口端之气流层偏向之气体流。2.如申请专利范围第1项之动态限制及无接触式接合方法,其中,管之断面形状为矩形,而其两个对立之面中具有槽并且从空室供给气体,各槽占据管之全部内侧宽度。3.如申请专利范围第2项之动态限制及无接触式接合方法,其中,该槽系于于矩形管之两个大面上。4.如申请专利范围第1项之动态限制及无接触式接合方法,其中,管之断面为圆形:槽式为连续而且沿着管之内侧;从空室将气体供给于槽而环绕着管之外侧;多孔板在管之内侧;多孔板在开口周围形成连续边缘;及在管周围设置空室而将气体供给于多孔板。5.如申请专利范围第1项之动态限制及无接触式接合方法,其中,离开槽之气体速度至少为离开多孔板之气体速度之十倍。6.如申请专利范围第1项之动态限制及无接触式接合方法,其中,具有相同形状之管之两个密开室间之接合距离系藉着将离开两密闭室之全部气体之在周围环境之气流静止时之出口速度设定在 0.3m /s至0.6m/s 之间,而且宕不能达到所需之气体出口速度时,尽量减少该两密闭室中之气体流而予以调整。7.如申请专利范围第1项之动态限制及无接触式接合方法,其中,当换置密闭室时增加经由开口之气体出口速度以便补偿换置之速度。8.如申请专利范围第l项之动态限制及无接触式接合方法,其中,密闭室中之梢高之压力系藉着吹进高纯度气体而达成,并且将过滤空气供给于槽及多孔板。图示简单说明:第l图为具有矩形断面之管之密开室之剖视图。第2图为具有圆形断面之管之密闭室之剖视图。第3图为表示产连续气流层之原理之图。第4图为矩形管之连续气流层剖视图。第5图为槽之详细图。第6图为无接触接合之剖视图。第7图表示在接合时气流层变形之状态图。第8图为使用圆形管时从连级槽中梳出之气流单层之部份剖视图。 |
