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发明名称 PROBER DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01270242(A) 申请公布日期 1989.10.27
申请号 JP19880098511 申请日期 1988.04.21
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 OYABU HIROYUKI
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/30;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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