| 摘要 |
사각 게이트 진공밸브 및 그 작동방법, 그리고 그를 구비하는 반도체 제조장치에 관한 발명이다. 본 발명의 사각 게이트 진공밸브는, 상호 대향되는 양측면에 제1 게이트와 제2 게이트가 형성되는 게이트 프레임; 상기 게이트 프레임의 하부 개구를 통해 상기 게이트 프레임 내로 직선이동 또는 회전 가능하게 배치되며, 상기 제1 게이트를 선택적으로 개폐하는 제1 밸브 유닛; 및 상기 게이트 프레임의 상부 개구를 통해 상기 게이트 프레임 내로 직선이동 또는 회전 가능하게 배치되며, 상기 제2 게이트를 선택적으로 개폐하는 제2 밸브 유닛을 포함한다. |
