| 摘要 |
적층 반도체 집적 회로 장치에 관한 것이며, 염가의 구성으로 적층을 위한 3차원 스페이스를 작게 함과 함께, 충분한 전원 품질을 제공한다. 제1 반도체 집적 회로 장치에 제1 반도체 기체를 두께 방향으로 관통함과 함께, 제1 전원 전위에 접속하는 제1 관통 반도체 영역과, 제2 전원 전위에 접속하는 제2 관통 반도체 영역을 형성하고, 제1 관통 반도체 영역과 제2 관통 반도체 영역에 각각 접속하는 제1 전극 및 제2 전극을 갖는 제2 반도체 집적 회로 장치를 적층한다. |
