| 发明名称 |
APPARATUS FOR VAPOR GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02267190(A) |
申请公布日期 |
1990.10.31 |
| 申请号 |
JP19890088310 |
申请日期 |
1989.04.06 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TATEMICHI JUNICHI;ONODA MASATOSHI;MORI KAZUO |
| 分类号 |
C30B25/08;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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