发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0319234(A) 申请公布日期 1991.01.28
申请号 JP19890153436 申请日期 1989.06.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 IKEDA MASAHIRO
分类号 H01L29/73;H01L21/3205;H01L21/331;H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8222;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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