发明名称
摘要
申请公布号 JPH0315336(B2) 申请公布日期 1991.02.28
申请号 JP19850261848 申请日期 1985.11.21
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OKUMURA KATSUYA;MYAZAKI SHINJI
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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