氮化铝之气相制备方法

摘要

将烷基铝和任选之硼化合物，与氮的氢化物在气相中予以混合，并且维持一个气相温度，任意地在载体气体的存在下单独，产生氮化铝或是产生氮化铝与其先驱物，或氮化硼或二者皆有的混合物。