| 发明名称 |
LOADING AND UNLOADING METHOD OF BOARD ONTO BOARD HOLDER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03251336(A) |
申请公布日期 |
1991.11.08 |
| 申请号 |
JP19900046589 |
申请日期 |
1990.02.27 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
ONO SHINICHI;SUDO SATORU;OKUTSU SEIICHI |
| 分类号 |
B23P19/00;B23Q7/04;B25J13/00;C23C14/50;G11B5/84 |
主分类号 |
B23P19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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