发明名称 SELECTIVE ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH03254123(A) 申请公布日期 1991.11.13
申请号 JP19900051469 申请日期 1990.03.02
申请人 YAMAHA CORP 发明人 SAKAKIBARA SHINGO
分类号 C23F4/00;H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址
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