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发明名称 MANUFACTURE OF SILICON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH03263324(A) 申请公布日期 1991.11.22
申请号 JP19900249076 申请日期 1990.09.19
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 TSUJI NAOTO
分类号 H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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